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Literatur

  1. Dr. Michael Köhler

Published Online: 28 JAN 2005

DOI: 10.1002/3527602917.biblio

Ätzverfahren für die Mikrotechnik

Ätzverfahren für die Mikrotechnik

How to Cite

Köhler, M. (1998) Literatur, in Ätzverfahren für die Mikrotechnik, Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim, FRG. doi: 10.1002/3527602917.biblio

Author Information

  1. Institut für Physikalische Hochtechnologie e.V. Jena, Helmholtzweg 4, D-07743 Jena, Germany

Publication History

  1. Published Online: 28 JAN 2005
  2. Published Print: 26 FEB 1998

ISBN Information

Print ISBN: 9783527288694

Online ISBN: 9783527602919

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