Chapter 2. Besonderheiten mikrotechnischer Ätzprozesse

  1. Dr. Michael Köhler

Published Online: 28 JAN 2005

DOI: 10.1002/3527602917.ch2

Ätzverfahren für die Mikrotechnik

Ätzverfahren für die Mikrotechnik

How to Cite

Köhler, M. (1998) Besonderheiten mikrotechnischer Ätzprozesse, in Ätzverfahren für die Mikrotechnik, Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim, FRG. doi: 10.1002/3527602917.ch2

Author Information

  1. Institut für Physikalische Hochtechnologie e.V. Jena, Helmholtzweg 4, D-07743 Jena, Germany

Publication History

  1. Published Online: 28 JAN 2005
  2. Published Print: 26 FEB 1998

ISBN Information

Print ISBN: 9783527288694

Online ISBN: 9783527602919

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Keywords:

  • mikrotechnische Ätzverfahren;
  • Strukturerzeugung;
  • Ätzrate;
  • Selektivität;
  • isotropes Ätzen;
  • anisotropes Ätzen;
  • Flankengeometrie;
  • Kantenrauhigkeit;
  • Maßhaltigkeit;
  • Monitoring

Summary

  • Ätzen als formgebendes Verfahren

    • Grenzen additiver mikrotechnischer Strukturerzeugung

    • Subtraktive Strukturerzeugung

  • Ätzrate und Selektivität

    • Ätzrate und Zeitbedarf

    • Der Ätzvorgang

    • Transportprozesse

    • Prozeßgeschwindigkeiten

  • Isotropes und anisotropes Ätzen

  • Flankengeometrie und Kantenrauhigkeit

    • Abweichung von der idealen Geometrie

    • Flankengeometrie beim isotropen Ätzen

    • Herstellung flacher Flankenwinkel durch isotropes Ätzen

    • Flankengeometrie beim anisotropen Ätzen

    • Einstellung der Flankengeometrie durch partiell anisotropes Ätzen

  • Maßhaltigkeit

  • Monitoring von Ätzprozessen