Chapter 3. Naßätzverfahren: Abschnitte 3.5 - 3.6

  1. Dr. Michael Köhler

Published Online: 28 JAN 2005

DOI: 10.1002/3527602917.ch3b

Ätzverfahren für die Mikrotechnik

Ätzverfahren für die Mikrotechnik

How to Cite

Köhler, M. (1998) Naßätzverfahren: Abschnitte 3.5 - 3.6, in Ätzverfahren für die Mikrotechnik, Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim, FRG. doi: 10.1002/3527602917.ch3b

Author Information

  1. Institut für Physikalische Hochtechnologie e.V. Jena, Helmholtzweg 4, D-07743 Jena, Germany

Publication History

  1. Published Online: 28 JAN 2005
  2. Published Print: 26 FEB 1998

ISBN Information

Print ISBN: 9783527288694

Online ISBN: 9783527602919

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Keywords:

  • kristallografisches Ätzen;
  • anisotropes Ätzen

Summary

  • Kristallografisches Ätzen

    • Naßchemischer Materialabtrag an Einkristalloberflächen

    • Anisotropes Ätzen von einkristallinen Metallen

    • Anisotropes Ätzen von Silizium

    • Anisotropes elektrochemisches und photoelektrochemisches Ätzen

    • Poröses Silizium

    • Anisotropes Ätzen von Verbindungshalbleitern

  • Herstellung freitragender Mikro Strukturen

    • Oberflächenmikromechanik

    • Substrat-Mikromechanik (“Bulk-Mikromechanik”)

    • Poröses Silizium als Opferschichtmaterial