Chapter 3. Vakuummessung und -regelung sowie Lecksuche
- Dr. rer. nat. Wolfgang Jorisch2,3
Published Online: 28 JAN 2005
DOI: 10.1002/3527602925.ch3
Copyright © 1999 Wiley-VCH Verlag GmbH
Book Title
Vakuumtechnik: in der Chemischen Industrie
Additional Information
How to Cite
Bley, W.Große. and Froese, Th. (2005) Vakuummessung und -regelung sowie Lecksuche, in Vakuumtechnik: in der Chemischen Industrie (ed W. Jorisch), Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim, FRG. doi: 10.1002/3527602925.ch3
Editor Information
- 2
Leybold Vakuum GmbH, Bonner Straße 498, D–50968 Köln (Bayenthal), Germany
- 3
VDI Bildungswerk GmbH, Graf-Recke-Straße 84, D–40239 Düsseldorf, Germany
Publication History
- Published Online: 28 JAN 2005
- Published Print: 26 NOV 1998
ISBN Information
Print ISBN: 9783527288793
Online ISBN: 9783527602926
- Summary
- Chapter
Keywords:
- Vakuummessung;
- Vakuumregelung;
- Lecksuche;
- Grobvakuummeßverfahren;
- Feinvakuummeßverfahren;
- elektrische Meßgeräte
Summary
- 3.1
Grob- und Feinvakuummeßverfahren
- 3.1.1
Druckeinheiten und Vakuumbereiche
- 3.1.2
Direkt und indirekt messende Vakuummeter sowie deren Meßbereiche
- 3.1.3
Flüssigkeitsmanometer
- 3.1.4
Mechanische Vakuummeßgeräte
- 3.1.5
Elektromechanische Druckaufnehmer
- 3.1.6
Wärmeleitungsvakuummeter
- 3.1.6.1
Wärmeleitungsvakuummeter mit konstanter Heizleistung am Meßfaden
- 3.1.6.2
Wärmeleitungsvakuummeter mit konstanter Temperatur des Meßfadens
- 3.1.6.3
Umgebungs- und Prozeßeinflüsse auf Wärmeleitungsvakuummeter
- 3.1.7
Elektrische Meßgeräte in explosionsgefährdeten Bereichen
- 3.2
Lecksuchmethoden
- 3.2.1
Definition von Leckageraten
- 3.2.2
Grenzleckagerate von Chemieanlagen
- 3.2.3
Lecksuchmethoden
- 3.2.4
Helium als Prüfgas
- 3.2.5
Die Lecksuche mit einem Heliumleckdetektor
- 3.2.6
Lecksuche bei Anlagendruck im Feinvakuumbereich
- 3.2.6.1
Leckdetektoranschluß am Vakuumsystem der Anlage
- 3.2.6.2
Die Nachweisgrenze von Leckageraten abhängig vom Anschlußpunkt in mehrstufigen Pumpsystemen
- 3.2.7
Lecksuche bei Anlagen im Grobvakuumbereich
- 3.2.8
Eigenschaften und Kenngrößen von Heliumleckdetektoren
- 3.3
Vakuumregelung
- 3.3.1
Möglichkeiten für den Stelleingriff
- 3.3.2
Wahl der Regelstrategie bei einfachen Systemen
- 3.3.3
Wahl der Regelstrategie bei vernetzten Systemen