Chapter 3. Vakuummessung und -regelung sowie Lecksuche

  1. Dr. rer. nat. Wolfgang Jorisch2,3
  1. Dipl.-Phys. W.Große Bley2 and
  2. Dipl.-Ing. Th. Froese1

Published Online: 28 JAN 2005

DOI: 10.1002/3527602925.ch3

Vakuumtechnik: in der Chemischen Industrie

Vakuumtechnik: in der Chemischen Industrie

How to Cite

Bley, W.Große. and Froese, Th. (2005) Vakuummessung und -regelung sowie Lecksuche, in Vakuumtechnik: in der Chemischen Industrie (ed W. Jorisch), Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim, FRG. doi: 10.1002/3527602925.ch3

Editor Information

  1. 2

    Leybold Vakuum GmbH, Bonner Straße 498, D–50968 Köln (Bayenthal), Germany

  2. 3

    VDI Bildungswerk GmbH, Graf-Recke-Straße 84, D–40239 Düsseldorf, Germany

Author Information

  1. 1

    ATLAN-tec KG, Hans-Martin-Schleyer-Straße 18a, D–7877 Willich, Germany

  2. 2

    Leybold Vakuum GmbH, Bonner Straße 498, D–50968 Köln (Bayenthal), Germany

Publication History

  1. Published Online: 28 JAN 2005
  2. Published Print: 26 NOV 1998

ISBN Information

Print ISBN: 9783527288793

Online ISBN: 9783527602926

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Keywords:

  • Vakuummessung;
  • Vakuumregelung;
  • Lecksuche;
  • Grobvakuummeßverfahren;
  • Feinvakuummeßverfahren;
  • elektrische Meßgeräte

Summary

3.1

Grob- und Feinvakuummeßverfahren

3.1.1

Druckeinheiten und Vakuumbereiche

3.1.2

Direkt und indirekt messende Vakuummeter sowie deren Meßbereiche

3.1.3

Flüssigkeitsmanometer

3.1.4

Mechanische Vakuummeßgeräte

3.1.5

Elektromechanische Druckaufnehmer

3.1.6

Wärmeleitungsvakuummeter

3.1.6.1

Wärmeleitungsvakuummeter mit konstanter Heizleistung am Meßfaden

3.1.6.2

Wärmeleitungsvakuummeter mit konstanter Temperatur des Meßfadens

3.1.6.3

Umgebungs- und Prozeßeinflüsse auf Wärmeleitungsvakuummeter

3.1.7

Elektrische Meßgeräte in explosionsgefährdeten Bereichen

3.2

Lecksuchmethoden

3.2.1

Definition von Leckageraten

3.2.2

Grenzleckagerate von Chemieanlagen

3.2.3

Lecksuchmethoden

3.2.4

Helium als Prüfgas

3.2.5

Die Lecksuche mit einem Heliumleckdetektor

3.2.6

Lecksuche bei Anlagendruck im Feinvakuumbereich

3.2.6.1

Leckdetektoranschluß am Vakuumsystem der Anlage

3.2.6.2

Die Nachweisgrenze von Leckageraten abhängig vom Anschlußpunkt in mehrstufigen Pumpsystemen

3.2.7

Lecksuche bei Anlagen im Grobvakuumbereich

3.2.8

Eigenschaften und Kenngrößen von Heliumleckdetektoren

3.3

Vakuumregelung

3.3.1

Möglichkeiten für den Stelleingriff

3.3.2

Wahl der Regelstrategie bei einfachen Systemen

3.3.3

Wahl der Regelstrategie bei vernetzten Systemen