Chapter 4. Herstellungsverfahren für Nanostrukturen

  1. Dr. Michael Köhler

Published Online: 28 JAN 2005

DOI: 10.1002/3527603301.ch4

Nanotechnologie: Eine Einführung in die Nanostrukturtechnik

Nanotechnologie: Eine Einführung in die Nanostrukturtechnik

How to Cite

Köhler, M. (2001) Herstellungsverfahren für Nanostrukturen, in Nanotechnologie: Eine Einführung in die Nanostrukturtechnik, Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim, FRG. doi: 10.1002/3527603301.ch4

Author Information

  1. Institut für Physikalische Hochtechnologie, Winzerlaer Straße 10, 07745 Jena, Germany

Publication History

  1. Published Online: 28 JAN 2005
  2. Published Print: 29 OCT 2001

ISBN Information

Print ISBN: 9783527301270

Online ISBN: 9783527603305

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Keywords:

  • Nanotechnologie;
  • Herstellungsverfahren für Nanostrukturen;
  • Strukturierungsprinzipien;
  • nanomechanische Strukturierung;
  • Lithografische Nanostrukturierungsverfahren;
  • Strukturerzeugung;
  • Nahfeldsondenverfahren

Summary

  • Strukturierungsprinzipien

    • Subtraktive und additive Erzeugung von Nanostrukturen

    • Strukturierung durch einen Lift-off-Prozeß

    • Formgebungs- und Konstruktionsprinzipien in der Nanotechnik

  • Nanomechanische Strukturierung

    • Skalierung mechanischer Bearbeitungsmethoden

    • Lokal materialabtragende mechanische Verfahren

    • Oberflächen-Transport-Verfahren

    • Umformende Verfahren

    • Druckende Verfahren

  • Lithografische Nanostrukturierungsverfahren

    • Strukturübertragung durch elektromagnetische Strahlung

    • Nanolithografische Gruppenstrukturübertragung durch optische Abbildung von Masken

    • EUV- und Röntgenlithografie

    • Mehrlagenresisttechniken mit optischer Strukturübertragung

    • Nahfeldoptische Strukturierung mit Kontaktmaskenverfahren

    • Energetische Teilchen in der nanolithografischen Strukturübertragung

    • Elektronenstrahllithografie

    • Ionenstrahllithografie

    • Atomstrahllithografie

    • Molekülstrahl- und Nanoteilchenstrahl-Lithografie

    • Direktschreibende Strukturierung durch Teilchenstrahlen

    • Einzelteilchenstrahlprozesse

    • Nanostrukturierung durch selbststrukturierende Masken

  • Strukturerzeugung durch Nahfeldsondenverfahren

    • Oberflächenkraftfeldsonden

    • Teilchenmanipulation mit dem Rastertunnelmikroskop (STM)

    • Thermomechanisches Schreiben von Nanostrukturen

    • Elektrisch induzierte Strukturierung mit Nahfeldrastersonden

    • Chemisch-stromlos induzierte Rastersondenstrukturierung

    • Nanostrukturierung durch optische Nahfeldsonden