SEARCH

SEARCH BY CITATION

Abstract

Die Art des Clean-up in Wasserstoff hängt von der Vorbehandlung der Glaswände ab. Es ist ein normaler und ein anomaler Verlauf zu unterscheiden. Beim anomalen Clean-up bildet sich ein rekondensierbares Gas, das aus Siliciumwasserstoffen besteht. Die Druckabnahme beim anomalen Clean-up ist z. T. durch Kondensation der gebildeten Silane verursacht.