Messung kleiner Schichtdickenunterschiede in dünnen nichtmetallischen Schichten

Authors


  • Herrn. Prof. K. Krebs danke ich für zahlreiche Diskussionen und wertvolle Ratschläge. Der Deutschen Forschungsgemeinschaft bin ich für finanzielle Unterstützung dieser und weiterer Arbeiten zu besonderem Dank verpflichtet.

Abstract

Es wird die Schichtdickenverteilung in dünnen, dielektrischen Schichten, deren Dicke sich von Ort zu Ort nur wenig ändert, mit hoher Genauigkeit bestimmt, indem das Reflexionsvermögen in Abhängigkeit vom Schichtort gemessen und auf Dickenänderungen umgerechnet wird. Die Meßanordnung wird beschrieben, das Ergebnis der Messungen für eine Kryolith-Aufdampfschicht angegeben und daraus die Dampfstrahlcharakteristik der benutzten Verdampfungsöfen bestimmt. Ferner wird die Anwendung des Verfahrens auf Mehrfachschichten sowie der Einfluß der Dispersion der Schichtsubstanzen untersucht.

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