Zur Streuung von Elektronen am Restgas

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Abstract

Es wird die Mottsche Streuformel für die Streuung an einatomigen Gasen über einen Streuweg integriert und die so gestreute Intensität für Helium als Funktion des Abstandes vom „Primärfleck” allgemein dargestellt. In einer numerischen Auswertung werden für einen vorgegebenen Streuweg und für eine vorgegebene Wellenlänge Intensitätswerte mitgeteilt. Der Anteil der längs eines Streuweges elastisch gestreuten Intensität ist für großen Abstand vom „Primärfleck” vernachlässigbar klein. Er trägt kaum zur Untergrundstreuung bei. Der Hauptanteil ist in unmittelbarer Nähe des „Primärfleckes” zu erwarten. Die Streufunktion hat einen hyperbolschen Verlauf. Auf den längs eines Streuweges am Restgas von elektronenoptischen Anlagen so entstehenden zusätzlichen Anteil im Intensitätsprofil eines Beugungsreflexes bzw. eines elektronenmikroskopisch abgebildeten Punktes oder einer Kante wird hingewiesen.

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