Über die Auflösungsgrenze des Emissions-Elektronenmikroskops

Authors


  • Auszug aus der Dissertation, Technische Universität Dresden 1964.

Abstract

Unter Berücksichtigung der sphärischen Aberration dritter Ordnung wird eine wellenmechanische Formel für die Auflösungsgrenze des Emissions-Elektronenmikroskops hergeleitet, die für Austrittsenergien der Elektronen kleiner als 2 eV und elektrische Feldstärken am Objekt größer als 2 · 106 V/m bewiesen wird. Für das verwendete Modell (homogenes Feld vor dem Objekt, Punktquelle, einheitliche Austrittsenergie) wird der Einfluß der sphärischen Aberration dritter Ordnung und einer Aperturblende auf die Auflösungsgrenze diskutiert.

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