Zur Kontrastübertragung im Emissions-Elektronenmikroskop

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Abstract

Unter Berücksichtigung von sphärischer und chromatischer Aberration des homogenen Feldes vor der Kathode und von sphärischer Aberration dritter Ordnung und axialer chromatischer Aberration des Abbildungsfeldes wird die Kontrastübertragung im Emissions-Elektronenmikroskop auf wellenmechanischer und geometrisch-optischer Grundlage untersucht. Mit geeigneten Modellen für die objektseitige Emission wird gezeigt, daß die Auflösung im Emissions-Elektronenmikroskop wesentlich dadurch begrenzt ist, daß kleine Objekteinzelheiten infolge obiger Aberrationen im Bild keinen ausreichenden Kontrast liefern.

Abstract

On the Contrast Transmission in an Electron Emission Microscope. Contrast transmission in an electron emission microscope was investigated on the base of geometric-optical and wave mechanical approximation. At these investigations both spherical and chromatical aberration of the homogeneous field in front of the cathode as well as spherical aberration of third order and axial chromatical aberration of the lens field were considered. Suitable models concerning the object-emission show the resolution of the electron emission microscope mainly be limited by an insufficient image contrast of small object details.

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