Der Einfluß der Elektronenreemission auf die Anlaufkennlinie einer Langmuir-Sonde

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Abstract

Der Einfluß der Elektronenreemission auf die Anlaufkennlinie wird berechnet und mit Messungen an den Primärelektronen in einer Niederdruckentladung verglichen. Die Messungen zeigen die von der Rechnung vorhergesagten Strukturen, die auf der Energieabhängigkeit des Reemissionskoeffizienten beruhen. Aus der Materialabhängigkeit des Reemissionskoeffizienten lassen sich Rückschlüsse auf den Zustand der Sondenoberfläche, insbesondere auf Kontaminationen und die Effektivität von Verfahren zur Reinigung der Oberfläche, ziehen.

Abstract

The influence of reemission of electrons on the characteristic of a probe is calculated and compared with measurements of the primary electrons in a low pressure discharge. Structures due to the energy dependence of the reemission coefficient which are predicted by the calculations are confirmed by the measurements. Thus it is possible – considering the dependence of the coefficient of reemission on the material of the probe surface – to investigate by this effect the state of the probe surface i. e. contamination and the effect of cleaning methods.

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