Get access

Zur Entwicklung der Dip-Pen-Nanolithographie

Authors


Abstract

Die Möglichkeit zur gezielten Manipulation der chemischen Zusammensetzung und Struktur einer Oberfläche auf der Längenskala von 1 bis 100 nm ist von zentraler Bedeutung für einen breiten Bereich der nanotechnologischen Forschung, angefangen mit Studien zur elektronischen Leitfähigkeit, über die Katalyse hin zur biologischen Erkennung. Die Dip-Pen-Nanolithographie (DPN) ist eine neue Direktschreibmethode mit einem Kraftfeldmikroskop zur Erzeugung einer strukturierten chemischen Funktionalität auf einer Oberfläche im Sub-100-nm-Bereich. In diesem Aufsatz stellen wir das Prinzip der DPN vor und betrachten die Entwicklungen der letzten Jahre. Die Themen erstrecken sich von der Entwicklung neuer DPN-kompatibler Materialien über experimentelle und theoretische Untersuchungen der Prozesse, die den Spitze-Substrat-Transport der Tinte steuern, bis hin zur Implementierung von mikroelektromechanischen Systemen (MEMs) für DPN-Parallelanwendungen.

Get access to the full text of this article

Ancillary