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Templating of Silsesquioxane Cross-Linking Using Unimolecular Self-Organizing Polymers

Authors


  • Partial funding by the National Institute of Science and Technology (NIST) through an ATP cooperative agreement (70NANB8H4013) and the NSF Center for Polymeric Interfaces and Macromolecular Assemblies (CPIMA) is acknowledged. L.K.S. acknowledges partial financial support from JSR Microelectronics. The authors thank Eugene Delenia for expert assistance with TEM studies and Richard Siemens and Lucy Li for their definitive thermal analysis studies.

Abstract

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Sternförmige micellare Polymere dienen als Template für die kontrollierte Umwandlung amorpher wärmehärtender organischer Silsesquioxane in geordnete nanoporöse Materialien für Halbleiterchips (siehe Bild). Die Porengröße hängt allein von der Polymergröße ab, nicht von der Konzentration oder den Herstellungsbedingungen.

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