Hochdurchsatzmethode zur impedanzspektroskopischen Charakterisierung resistiver Gas-Sensoren

Authors


  • Die Autoren danken dem Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF-Förderkennzeichen 03C0305D) für die Unterstützung des Verbundvorhabens “KOMBISENS”.

Abstract

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Eine kombinatorische Prozesskette zur Synthese und Testung dicker Oxidfilme wurde für die Entwicklung neuer Gas-Sensoren aufgebaut. Teil dieser Kette ist die Synthese und Erzeugung von Mischoxidschichten mit variabler Zusammensetzung. Eine Materialbibliothek wurde auf einem Array von 8×8 Interdigitalelelektroden hergestellt (siehe Bild). Bei der Charakterisierung der Felder wurde die Abfolge der Prüfgase und die Umgebungstemperatur den Anforderungen entsprechend variiert.

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