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Keywords:

  • Hochdurchsatz-Screening;
  • Impedanzspektroskopie;
  • Kombinatorische Chemie;
  • Sensoren;
  • Sol-Gel-Prozesse
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Eine kombinatorische Prozesskette zur Synthese und Testung dicker Oxidfilme wurde für die Entwicklung neuer Gas-Sensoren aufgebaut. Teil dieser Kette ist die Synthese und Erzeugung von Mischoxidschichten mit variabler Zusammensetzung. Eine Materialbibliothek wurde auf einem Array von 8×8 Interdigitalelelektroden hergestellt (siehe Bild). Bei der Charakterisierung der Felder wurde die Abfolge der Prüfgase und die Umgebungstemperatur den Anforderungen entsprechend variiert.