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Keywords:

  • Lithographie;
  • Mikrofabrikation;
  • Nanostrukturen;
  • Nichtlineare optische Eigenschaften;
  • Polymerisationen

Abstract

Chemische und physikalische Prozesse, die auf Mehrphotonenabsorption beruhen, ermöglichen die Herstellung komplexer dreidimensionaler Mikrostrukturen mit einer Auflösung von 100 nm. Seit der experimentellen Realisierung der Mehrphotonenabsorption vor nicht einmal zehn Jahren wurden in diesem Bereich rasch Fortschritte erzielt, und Mehrphotonentechniken werden heute für die Herstellung funktionsfähiger Mikrosysteme eingesetzt. In diesem Aufsatz diskutieren wir die Techniken und Materialien, die für die Mehrphotonen-Mikrofabrikation verwendet werden, sowie bereits beschriebene und gegenwärtig angestrebte Anwendungen. Wir betrachten auch die Perspektiven dieses Felds für Forschung und Industrie.