SEARCH

SEARCH BY CITATION

Keywords:

  • Atomlagenabscheidung;
  • Dünne Filme;
  • Metalloxide;
  • Nanostrukturen;
  • Sol-Gel-Verfahren
Thumbnail image of graphical abstract

Kontrolliertes Wachstum: Ein nichtwässriger Ansatz für die Bildung von dünnen Metalloxidfilmen durch Atomlagenabscheidung wird vorgestellt. Die Methode, die an Sol-Gel-Verfahren angelehnt ist, beruht auf der Reaktion einer Carbonsäure mit einem Alkoxid. Die Metalloxide können bei Temperaturen von nur 50 °C auf diversen Trägermaterialien einschließlich Kohlenstoffnanoröhren abgeschieden werden (siehe TEM-Bild). Die frisch gezüchteten Filme zeigen einen extrem gleichmäßigen Aufbau und gute dielektrische Eigenschaften.