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Molekulare Erkennung in selbstorganisierten integrierten Schaltkreisen: kontrollierte Verkleinerung

Authors


  • Diese Arbeit wurde durch das National Creative Research Initiative Program des koreanischen Ministeriums für Erziehung, Wissenschaft und Technologie gefördert.

Abstract

In Kleindruck erhältlich: Die Blockcopolymer-Lithographie ermöglicht die Verkleinerung von integrierten Schaltkreisen – und das bei verkürzter Herstellungszeit. Eine auf Wasserstoffbrücken basierende Selbstorganisation durch molekulare Erkennung wurde genutzt, um auf der Oberfläche eines Siliciumsubstrats hochgeordnete quadratische Anordnungen von Blockcopolymeren zu erzeugen (siehe Bild).

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