Large-Area Nanocontact Printing with Metallic Nanostencil Masks

Authors


  • This project was supported by the National Science Foundation under NSF Award Number CMMI-0826219 and the Nanoscale Science and Engineering initiative under NSF Award Number EEC-0647560. For this research, we used the NUANCE Center facilities, which are supported by the NSF MRSEC and NSEC programs and by the Keck Foundation.

Abstract

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Hochdichte Molekülmuster bestehend aus Goldfilmen mit Nanolöchern wurden auf Poly(dimethylsiloxan)-Stempeln (PDMS) erzeugt. Löchrige Filme unterschiedlicher Dicke ergaben entweder Ätz- oder 1:1-Muster (siehe die Beispiele; Maßstab je 2 μm). Hierarchische Muster wurden mit einer einzigen Nanoschablone unter Verwendung gemusterter PDMS-Stempel oder durch Kombination von Nanoschablonen- und Mikrokontaktdruck erhalten.

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