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Flüssigphasenabscheidung freistehender Kupferfolien und Kupferdünnfilme auf ein Substrat und deren Strukturierung zu Leiterbahnmustern

Authors

  • Niklaus Kränzlin,

    1. Laboratorium für Multifunktionsmaterialien, Departement Materialwissenschaft, ETH Zürich, Wolfgang-Pauli-Strasse 10, 8093 Zürich (Schweiz)
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  • Stefan Ellenbroek,

    1. Laboratorium für Multifunktionsmaterialien, Departement Materialwissenschaft, ETH Zürich, Wolfgang-Pauli-Strasse 10, 8093 Zürich (Schweiz)
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  • Dr. Desirée Durán-Martín,

    1. Laboratorium für Multifunktionsmaterialien, Departement Materialwissenschaft, ETH Zürich, Wolfgang-Pauli-Strasse 10, 8093 Zürich (Schweiz)
    2. Instituto de Catálisis y Petroleoquímica, CSIC. C/Marie-Curie, 2, Campus de Cantoblanco, 28049 Madrid (Spanien)
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  • Prof. Markus Niederberger

    Corresponding author
    1. Laboratorium für Multifunktionsmaterialien, Departement Materialwissenschaft, ETH Zürich, Wolfgang-Pauli-Strasse 10, 8093 Zürich (Schweiz)
    • Laboratorium für Multifunktionsmaterialien, Departement Materialwissenschaft, ETH Zürich, Wolfgang-Pauli-Strasse 10, 8093 Zürich (Schweiz)
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  • Wir danken der ETH Zürich für finanzielle Unterstützung und S. Köppl für die Rasterkraftmikroskop-Messungen. D.D.M. dankt dem spanischen Bildungsministerium für ein Forschungsstipendium und dem Spanish National Research Council für finanzielle Unterstützung.

Abstract

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Metallfolien: Eine einfache stromlose Flüssigphasenabscheidung ermöglicht die Herstellung von freistehenden Kupferfolien und Kupferdünnfilmen auf Polymersubstraten. Letztere können in wenigen Schritten in Leiterbahnmuster für elektronische Anwendungen strukturiert werden (siehe Bild).

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