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Abstract

Les exemples d'utilisation des aérosols générés par voie pneumatique ou ultrasonique dans l'élaboration de couches minces de composés divers (oxydes, semi-conducteurs etc.) sur des substrats variés sont nombreux. Cependant, si les auteurs rapportent des résultats sur la composition chimique et les propriétés physiques des revêtements, ils ne font pas état d'études sur les conditions hydrodynamiques de l'écoulement de l'aérosol. Le travail présenté ici a pour but de montrer l'importance de ce paramètre et d'en faire ressortir les incidences sur la composition, la morphologie et les propriétés des couches.

Aerosols generated by ultrasonic or air processes are commonly used to obtain thin layers of various compounds (oxides, semi-conductors, etc) on various substrates. Though results are given in the literature about the chemical composition and physical properties, they are however never related to aerosol hydrodynamics. The present work aims to illustrate the importance of hydrodynamics and its effects on the layers' composition, morphology and properties.