Contrǒle hydrodynamique en convection mixte de l'épaisseur de dépǒts en phase gazeuse de semi-conducteurs sur des corps à symétrie de révolution

Authors

  • A. Ali Cherif,

    1. Université de Perpignan, Laboratoire de Mécanique, d'Acoustique et d'Instrumentation, 52, Avenue de Villeneuve, 66860 Perpignan Cedex, France
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  • A. Daïf,

    1. Université de Perpignan, Laboratoire de Mécanique, d'Acoustique et d'Instrumentation, 52, Avenue de Villeneuve, 66860 Perpignan Cedex, France
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  • M. Rakotomalala,

    1. EESS, B.P. 906, Université d'Antananarivo, Madagascar
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  • M. Daguenet

    Corresponding author
    1. EESS, B.P. 906, Université d'Antananarivo, Madagascar
    • Université de Perpignan, Laboratoire de Thermodynamique et Energétique, 52, Avenue de Villeneuve, 66860 Perpignan Cedex, France
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Abstract

Les auteurs résolvent à l'aide d'une méthode aux différences finies les équations de la couche limite laminaire et permanente qui entoure des corps à symétrie de révolution (sphère, ellipsoïdes allongé et aplati), au nez orienté vers le haut, portés, à 500°C, en rotation uniforme autour d'un axe vertical dans un écoulement axial descendant de gaz d'hydrogène à 25°C. La variabilité des propriétés physiques; du fluide en fonction de la température est prise en compte ainsi que la convection naturelle qui en résulte. Les auteurs montrent que l'écoulement et les transferts dépendent de façon significative de cette variabilité et qu'il est possible de contrǒler la croissance des couches limites thermique et massique en agissant sur les conditions opératoires, notamment sur le profil des corps. Une application directe de ce travail est le contrǒle des dépǒts en phase vapeur.

Abstract

The authors solve using an finite difference method the equations of steady-state laminar boundary layer around a body of revolution (sphere, extended and flattened ellipsoids). Hydrogen gas at 25°C flows upward around the body. Its nose faces downward, the temperature of its surface is 500°C and it rotates about its vertical axe at a constant velocity. The variability of the physical properties of the fluid as a function of temperature is considered as well as the resulting natural convection. It is revealed that flow, heat and mass transfers depend of the physical properties of the gas. It is possible to control the development of thermal and diffusional boundary layers through the operational conditions, specially the contour of the body.

Ancillary