Dünne Schichten

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Herstellung von Polymer- und Polymer-Metalloxid-Kompositschichten

Beschichtungstechniken für optische Interferenzschichtsysteme

  1. Dr. Thomas Neubert*,
  2. Dr. Michael Vergöhl

Article first published online: 4 FEB 2013

DOI: 10.1002/vipr.201300512

Issue

Vakuum in Forschung und Praxis

Vakuum in Forschung und Praxis

Volume 25, Issue 1, pages 34–38, Februar/März 2013

Additional Information

How to Cite

Neubert, T. and Vergöhl, M. (2013), Herstellung von Polymer- und Polymer-Metalloxid-Kompositschichten. Vakuum in Forschung und Praxis, 25: 34–38. doi: 10.1002/vipr.201300512

Author Information

  1. Fraunhofer Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST, Bienroder Weg 54 E, 38108 Braunschweig

*Fraunhofer Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST, Bienroder Weg 54 E, 38108 Braunschweig

Publication History

  1. Issue published online: 4 FEB 2013
  2. Article first published online: 4 FEB 2013

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