Vakuum in Forschung und Praxis

Copyright © 2013 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim

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Editor: Lisa Kleinen

Online ISSN: 1522-2454

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Stichworte

Vakuum, Forschung, Praxis, Vakuumtechnologie, Plasmatechnologie, Dünne Schichten, Oberflächen, online, Schichtsysteme, Organische Schichten, Vakuumpumpen, Plasma

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  1. Negative ions in reactive magnetron sputtering : Detecting the cause of damages in sensitive TCO films with energy resolved mass spectrometry (pages 52–56)

    Dr. Thomas Welzel and Dr. Klaus Ellmer

    Article first published online: 2 APR 2013 | DOI: 10.1002/vipr.201300518

  2. Hochrateabscheidung mit einem Mikrowellenplasma : Mit Duo-Plasmaline abgeschiedenes Siliziumoxid verleiht Polycarbonat die Kratzfestigkeit von Glas (pages 33–40)

    Stefan Merli, Dr. Andreas Schulz, Dr. Matthias Walker, Prof. Dr. Ulrich Stroth and Prof. Dr. Thomas Hirth

    Article first published online: 2 APR 2013 | DOI: 10.1002/vipr.201300513

  3. Die Geschichte der Vakuumtechnik : Ein Rückblick über fünf Jahrhunderte (pages 8–13)

    Heinz Barfuss

    Article first published online: 2 APR 2013 | DOI: 10.1002/vipr.201300524

  4. Spektralfotometrische Messungen bei 60° Einfallswinkel : Absolutmessung des gerichteten Transmissions- und Reflexionsvermögens von Oberflächen und Schichten (pages 42–47)

    Dr. Steffen Wilbrandt, Matthias Böhme, Dr. Olaf Stenzel, Ralph Schlegel and Prof. Dr. Norbert Kaiser

    Article first published online: 2 APR 2013 | DOI: 10.1002/vipr.201300517

  5. You have free access to this content
    Nichts verbindet Plasmatechnologie, Oberflächen und Dünne Schichten? (page 3)

    Prof. Dr. Michael Kopnarski

    Article first published online: 2 APR 2013 | DOI: 10.1002/vipr.201390015

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