Vakuum in Forschung und Praxis

Cover image for Vol. 29 Issue 1

Editor: Lisa Kleinen

Online ISSN: 1522-2454

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Stichworte

Vakuum, Forschung, Praxis, Vakuumtechnologie, Plasmatechnologie, Dünne Schichten, Oberflächen, online, Schichtsysteme, Organische Schichten, Vakuumpumpen, Plasma

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  1. Kostenstruktur von Plasmaverfahren : Die Anteile von Investitions-, Betriebs- und Verbrauchskosten an vakuumgestützten Beschichtungsverfahren (pages 40–49)

    Prof. Dr. Christian Oehr, Dr. Jochen Brand, Dr. Dirk Hegemann, Dr. Michael Liehr and Dr. Peter Wohlfart

    Version of Record online: 8 FEB 2017 | DOI: 10.1002/vipr.201700637

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