Vakuum in Forschung und Praxis

Cover image for Vol. 29 Issue 4

Editor: Lisa Kleinen

Online ISSN: 1522-2454

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Stichworte

Vakuum, Forschung, Praxis, Vakuumtechnologie, Plasmatechnologie, Dünne Schichten, Oberflächen, online, Schichtsysteme, Organische Schichten, Vakuumpumpen, Plasma

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    Magnetronsputtern – Innovationsmotor seit vier Jahrzehnten! (page 3)

    Prof. Dr. Günter Bräuer

    Version of Record online: 1 SEP 2017 | DOI: 10.1002/vipr.201770401

  2. Bewertung der Lebensdauer von dünnen HartstoffSchichten : Der Impact-Test als ergänzende Prüfmethode (pages 32–37)

    Reinhold Bethke, Antje Hipp, Hannes Meyer and Nadine Nöcker

    Version of Record online: 1 SEP 2017 | DOI: 10.1002/vipr.201700657

  3. Geregeltes Reaktivsputtern von Planar- und Rohrkathoden : Prozesssicherung in der Produktion (pages 46–51)

    Tobias Radny, Sebastian Grub, Rolf Schäfer and Thomas Schütte

    Version of Record online: 1 SEP 2017 | DOI: 10.1002/vipr.201700656

  4. Festkörper-Lithium-Ionen-Akkumulatoren : Herstellung mit Hilfe der physikalischen Gasphasenabscheidung (pages 14–20)

    Sven Ulrich, Marc Strafela, Julian Fischer, Carlos Ziebert, Klaus Seemann, Harald Leiste and Michael Stüber

    Version of Record online: 1 SEP 2017 | DOI: 10.1002/vipr.201700655

  5. High precision optical filter based on magnetron sputtering : Direct coating on glass and silicon wafers (pages 26–31)

    Jens-Peter Biethan, Detlef Arhilger, Jürgen Pistner, Holger Reus, Martin Stapp and Harro Hagedorn

    Version of Record online: 1 SEP 2017 | DOI: 10.1002/vipr.201700654

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