Chemie Ingenieur Technik

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Online ISSN: 1522-2640

Associated Title(s): Chemical Engineering & Technology, ChemBioEng Reviews, Energy Technology

30.03.2006

Mehrskalenansatz zur numerischen Simulation und Analyse der metallorganischen Gasphasenepitaxie

Mehrskalenansatz zur numerischen Simulation und Analyse der metallorganischen Gasphasenepitaxie

Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, durch einen kombinierten Einsatz verschiedener numerischer und experimenteller Methoden einen Beitrag zur Aufklärung der Transport- und Umwandlungsvorgänge in chemischen Reaktoren am Beispiel des MOVPE-Prozesses zu leisten.

Die metallorganische Gasphasenepitaxie (MOVPE) ist ein wichtiger Verarbeitungsschritt in der Halbleiterprozesstechnik zur Herstellung von III-V-Verbindungshalbleitern, auf deren Grundlage moderne elektronische und optoelektronische Bauelemente hergestellt werden. Aus diesem Grunde besteht ein großer Bedarf hinsichtlich der Optimierung bestehender Verfahren bzw. der Untersuchung des Potenzials von neuen Prozessen, beispielsweise durch den Einsatz von alternativen Prekursoren. Ziel ist es dabei, eine Verbesserung der Qualität der abgeschiedenen kristallinen Schichten zu erhalten. Hierbei spielt in mehrfacher Hinsicht die numerische Simulation eine zunehmende Rolle.
Im Beitrag wird gezeigt, wie in verschiedenen Teildisziplinen der Chemie und Physik die numerische Simulation eingesetzt werden kann und sich Ergebnisse interdisziplinärer Arbeitsgruppen ergänzen können. Die vorgestellte Arbeitsweise wird exemplarisch anhand der metallorganischen Gasphasenepitaxie demonstriert, kann aber ebenso in anderen Teilbereichen der chemischen Verfahrenstechnik genutzt werden.

G. Brenner, M. Mukinovic, E. Mesic, R. Schmid, M. Tafipolsky, J. Khanderi, R. A. Fischer, Chem. Ing. Tech. 2006, 78 (6), 679.
Full article online, DOI: 10.1002/cite.200500166

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