Chemie Ingenieur Technik

Cover image for Vol. 88 Issue 10

Online ISSN: 1522-2640

Associated Title(s): Chemical Engineering & Technology, ChemBioEng Reviews, Energy Technology

16.09.2006

Prozessgase in der Halbleiterindustrie

Prozessgase in der HalbleiterindustrieBei der Herstellung von Mikroelektronikbausteinen werden zahlreiche sehr teure, reaktive und klimaschädigende Prozessgase eingesetzt. Eine Prozessoptimierung sowie die geeigneten Recycling- und Abgasreinigungseinrichtungen haben entsprechend große sowohl wirtschaftliche als auch ökologische Bedeutung. Bei der Empa wurde eine extraktive, FTIR-basierte Messmethode zur Bestimmung der Prozessgaszusammensetzung in der Halbleiterindustrie entwickelt. Sie umfasst neben der Auswertung der IR-Spektren mit einem chemometrischen Verfahren auch die Optimierung des zeitlichen Ansprechverhaltens der Probenahmeeinrichtung.
(Photo: © Corbis Digital Stock)

J. Mohn, R. Gälli, L. Emmenegger, Chem. Ing. Tech. 2006, 78 (10), 1524.
Full article online, DOI: 10.1002/cite.200600037

Ihr Kommentar...

[Weitere Nachrichten]

SEARCH

SEARCH BY CITATION